目前隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，實(shí)驗(yàn)室儀器的增加，需要用到各種氣體，其中包含易燃易爆、有毒、腐蝕性等氣體，因?yàn)樵谠摎怏w存放在室內(nèi)(儀器房間)有較大的安全隱患，使用不當(dāng)就會(huì)造成爆炸及人員傷亡，因此需要移動(dòng)式防爆供氣柜。


移動(dòng)式防爆供氣柜用于對(duì)易燃易爆、有毒、腐蝕性氣體的安全存儲(chǔ)及使用，具有更強(qiáng)的安全性，便于氣源部分的通風(fēng)以及存放，氣瓶的更換也不需要運(yùn)送到樓層內(nèi)進(jìn)行換置，移動(dòng)式防爆供氣柜能夠達(dá)到人瓶分離的效果，以保障實(shí)驗(yàn)室人員的安全的同時(shí)更加便捷了氣源的統(tǒng)一性管理。而對(duì)于防爆柜來(lái)說(shuō)，吹掃(換氣)時(shí)間是一個(gè)相當(dāng)重要的安全指標(biāo)。

吹掃是指在防爆正壓柜起動(dòng)前用保護(hù)性氣體充入正壓外殼內(nèi)置換外殼內(nèi)部的可燃性氣體的過(guò)程。掃結(jié)束后正壓外殼內(nèi)充滿了保護(hù)性氣體，此時(shí)才允許對(duì)設(shè)備通電，啟動(dòng)設(shè)備。吹掃(換氣)時(shí)間是指對(duì)正壓外殼充入5倍外殼(包括輸送管道)容積的保護(hù)性氣體量所需的時(shí)間。顯然，吹掃時(shí)間與充入正壓外殼的保護(hù)性氣體的壓力、流量有關(guān)。

在防爆機(jī)柜使用的過(guò)程中，為了確保安全，防爆機(jī)柜內(nèi)通常需要安裝氣體泄放閥，然而普通的氣體泄放閥不具有防爆的功能。在使用的過(guò)程中，由于不能對(duì)釋放氣體的流量進(jìn)行測(cè)量，在對(duì)換氣時(shí)間進(jìn)行計(jì)算時(shí)，只能根據(jù)被保護(hù)柜體的容積大小和估計(jì)的流量進(jìn)行人工計(jì)算，為了確保正壓防爆機(jī)柜的使用安全，需要在柜體內(nèi)供應(yīng)足夠的換氣量，而增加換氣量需要增加換氣的時(shí)間，柜體就需要較長(zhǎng)的換氣時(shí)間，這樣就浪費(fèi)了換氣時(shí)間，還浪費(fèi)了氣體資源。因此需要安裝氣體流量計(jì)，工采網(wǎng)美國(guó)Siargo 便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì) -MF5700是基于矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。



該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過(guò)傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測(cè)量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一個(gè)專門(mén)的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。下圖為該系列流量計(jì)的原理框圖。



美國(guó)Siargo MF5700系列便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì) 參數(shù)：